멤스 미러 및 이의 리사쥬 스캔 구동방법

Abstract

본 발명은 멤스 미러가 리사쥬 스캔을 실현하는데 있어 고속 및 고해상도를 동시에 만족시키는 구동 주파수를 선정하고 그 선정된 구동 주파수를 적용하는 구동 방법과 이러한 구동 방법을 효율적으로 적용시키기 위해 멤스 미러의 품질 인자(Q-factor)를 낮게 설계하여 공명 대역폭이 넓게 형성된 멤스 미러에 대한 것이다. 본 발명의 멤스 미러 및 이의 리사쥬 스캔 구동 방법은 멤스 미러의 리사쥬 스캔을 위한 구동 주파수를 공명 대역폭 내에서 효율적으로 선정하여 이를 적용함으로써 속도가 빠르고 해상도가 높은 스캔 결과를 얻을 수 있다. 구체적으로 고속, 고해상도를 위한 구동 주파수 선정 방법을 적용하여 0.025초에 100%의 fill factor를 가지는 리사쥬 스캔 구현이 가능하다.