연속방출광 기반의 대기압 플라즈마 전자진단 기술

Abstract

플라즈마의 기본 특성을 평가하기 위한 플라즈마 진단은 필수로 수행되어 왔고, 현재까지도 플라즈마 연구에 중요한 부분을 차지하고 있다. 하지만 대기압 조건하에 사용 가능한 전자진단법의 제한으로 대기압 저온 플라즈마의 전자 특성에 대한 심도 있는 연구내용이 부족한 실정이다. 본 발표에서는 연속 방출광(전자-중성원자 제동복사, electron-neutral bremsstrahlung) 기반의 대기압 플라즈마 전자진단 기술을 소개하고, 대기압 RF 플라즈마에서의 여러 전자 정보에 대해 발표하고자 한다. 플라즈마 방출광 기반의 이 진단 기술은 전자온도의 3차원 영상화가 가능하여, 정확한 전자 가열 구조의 이해에 도움이 될 것이라 생각된다