정렬된 3차원 다공성 구조를 갖는 사전 농축기 및 그 제조 방법PRE-CONCENTRATOR HAVING ORDERED THREE-DIMENSIONAL POROUS STRUCTURE
개시된 사전 농축기는, 트렌치를 갖는 베이스 기판, 상기 트렌치 내면을 따라 콘포말하게 배치되는 금속층 및 상기 트렌치 내부에 상기 금속층 위에 배치되며, 3차원으로 서로 연결되는 정렬된 기공을 갖는 3차원 다공성 나노구조물을 포함한다. 상기 사전 농축기는, 시료의 농축 성능 및 농축된 시료의 열탈착 효율을 개선할 수 있다.
- Assignee
- 한국과학기술원
- Country
- KO (South Korea)
- Application Date
- 2018-04-09
- Application Number
- 10-2018-0041150
- Registration Date
- 2020-05-12
- Registration Number
- 10-2112031-0000
- Appears in Collection
- MS-Patent(특허)
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