능동 홀로그래픽 광학 집게를 이용한 3차원 정밀 광 조형 방법 및 장치3D PHOTOLITHOGRAPHY METHOD AND APPARATUS USING ACTIVE HOLOGRAPHIC OPTICAL TWEEZERS
능동 홀로그래픽 광학 집게를 이용한 3차원 정밀 광조형 방법 및 장치가 개시된다. 3차원 정밀 광조형 방법은, 광조형 기술로 제작된 물체(object)의 3차원 굴절률 분포를 측정하는 단계, 및 상기 3차원 굴절률 분포와 상기 물체의 3차원 형상 정보에 기초하여 광학 집게의 포획광의 파면을 제어하는 단계를 포함할 수 있다.
- Assignee
- 한국과학기술원
- Country
- KO (South Korea)
- Application Date
- 2019-06-20
- Application Number
- 10-2019-0073327
- Registration Date
- 2019-11-26
- Registration Number
- 10-2051262-0000
- Appears in Collection
- PH-Patent(특허)
- Files in This Item
- There are no files associated with this item.
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.