실리콘 웨이퍼 보관케이스Silicon wafer storage Case

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본 발명은 판 상으로 내부에는 실리콘 웨이퍼가 수용되는 수용공간을 형성하고, 후방 좌, 우측면에는 힌지 결합공을 각각 형성한 수용부재와, 상기 수용부재와 같은 형상으로 저면에는 상기 수용부재가 수용되는 공간을 형성하며, 후방이 상기 수용부재의 힌지 결합공과 힌지로 결합되어, 상기 힌지를 축으로 회전하여 상기 수용부재와 접철되면서 수용공간을 밀폐하는 덮개부재와, 상기 수용공간의 바닥면 및 상기 덮개부재 저면에 구비되어, 상기 덮개부재가 힌지를 축으로 회전하여 수용부재와 접철될 시, 상기 수용공간에 수용된 실리콘 웨이퍼의 표면과 밀접하여, 상기 실리콘 웨이퍼가 유동하지 않게 구속하는 복수 개의 구속수단, 및 상기 수용부재의 후방에 중앙에 구비되어, 사용자 조작에 의해 선택적으로 상기 수용부재의 수용공간으로 이동하여 수용공간에 수용된 실리콘 웨이퍼의 일부분을 들어올리는 올림수단을 포함하여, 판 상의 실리콘 웨이퍼의 취급이 간편하고, 필요에 따라 선택적으로 다단으로 연결 또는 분리가 가능하며, 또한 사진공정을 마친 샘플 웨이퍼의 이동 시 하나 또는 선택적 여러 개의 샘플이 오염되거나, 파손에서부터 안전하게 보호되어 이동할 수 있는 실리콘 웨이퍼 보관케이스를 제공한다.
Assignee
계명대학교 산학협력단,한국과학기술원
Country
KO (South Korea)
Issue Date
2019-05-13
Application Date
2017-07-12
Application Number
10-2017-0088511
Registration Date
2019-05-13
Registration Number
10-1979768-0000
URI
http://hdl.handle.net/10203/262375
Appears in Collection
RIMS Patents
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