박막의 열팽창 계수를 측정하기 위한 장치 및 그 방법APPARATUS FOR MEASURING COEFFICIENT OF THERMAL EXPANSION OF THIN FILM AND METHOD THEREOF
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | 김택수 | ko |
| dc.contributor.author | 김재한 | ko |
| dc.contributor.author | 장경림 | ko |
| dc.contributor.author | 안광호 | ko |
| dc.date.accessioned | 2019-04-25T01:55:30Z | - |
| dc.date.available | 2019-04-25T01:55:30Z | - |
| dc.date.issued | 2019-03-12 | - |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/10203/261541 | - |
| dc.description.abstract | 본 발명에 의한 박막의 열팽창 계수를 측정하기 위한 장치 및 그 방법이 개시된다. 본 발명의 일 실시예에 따른 박막의 열팽창 계수를 측정하기 위한 장치는 내부에 물을 수용하고, 파티클을 뿌리는 방식을 이용하여 적어도 한 쌍의 파티클이 그 표면에 패터닝된 박막이 상기 물의 표면에 띄워지는 용기; 상기 용기 내부의 물을 가열하여 상기 박막의 온도를 간접적으로 높이는 가열부; 상기 물의 표면에 띄워진 박막을 촬영하여 이미지를 획득하는 촬영부; 및 상기 가열부에 의해 가열되는 물 표면의 온도 변화에 따라 상기 촬영부에 의해 획득된 이미지로부터 상기 박막의 표면에 패터닝된 파티클 간의 거리 변화율을 추출하여 추출된 상기 거리 변화율을 기반으로 상기 박막의 열팽창 계수를 산출하는 제어부를 포함한다. | - |
| dc.title | 박막의 열팽창 계수를 측정하기 위한 장치 및 그 방법 | - |
| dc.title.alternative | APPARATUS FOR MEASURING COEFFICIENT OF THERMAL EXPANSION OF THIN FILM AND METHOD THEREOF | - |
| dc.type | Patent | - |
| dc.type.rims | PAT | - |
| dc.contributor.localauthor | 김택수 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 김재한 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 장경림 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 안광호 | - |
| dc.contributor.assignee | 한국과학기술원 | - |
| dc.identifier.iprsType | 특허 | - |
| dc.identifier.patentApplicationNumber | 10-2017-0088905 | - |
| dc.identifier.patentRegistrationNumber | 10-1959365-0000 | - |
| dc.date.application | 2017-07-13 | - |
| dc.date.registration | 2019-03-12 | - |
| dc.publisher.country | KO | - |
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