지지체가 필요 없는 금속 나노선 및 3차원 금속 나노 촉매의 제조방법

Abstract

본 발명은 지지체가 필요 없는 금속 나노선 및 3차원 금속 나노 촉매의 제조방법에 관한 것으로 (A) 요철이 형성된 트렌치 기판에 하이드록시가 치환된 제1 고분자를 코팅 후 오븐에서 처리하는 단계; (B) 오븐 처리된 트렌치 기판 상면에 실리콘이 적어도 한쪽 블록에 포함된 블록 공중합체를 코팅하는 단계; (C) 블록 공중합체가 코팅된 트렌치 기판을 어닐링하는 단계; (D) 어닐링된 트렌치 기판을 이온에칭(RIE)하여 패턴을 형성하며 블록 공중합체를 산화실리콘(SiOx)로 전환하는 단계; (E) 산화실리콘 패턴을 하이드록시가 치환된 제2 고분자로 코팅 후 오븐에서 처리하는 단계; (F) 오븐 처리된 산화실리콘 패턴 상면에 아크릴 수지를 코팅하는 단계; (G) 산화실리콘 패턴과 코팅된 아크릴 수지를 분리하여 아크릴 수지의 일면에 패턴과 동일한 형상으로 다수개의 음각이 형성되는 단계; (H) 다수개의 음각 사이에 위치한 아크릴 수지의 직선기둥을 따라 금속 나노선을 증착시키는 단계; 및 (I) 금속 나노선이 증착된 아크릴 수지의 금속 나노선이 기판에 위치하도록 부착한 후 아크릴 수지를 제거하여 지지체가 없는 금속 나노선을 제조하는 단계;를 포함함으로써, 3차원 나노 촉매를 제조할 수 있으며 카본 지지체가 없어 열화 현상을 최소화하고 얇은 두께로 인해 물질의 이동거리 감소와 물배출이 원활하다.