결점 용융을 이용한 자기조립 나노 패턴 형성 방법Formation method of self-assembled nano-pattern using defect melting
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | 김상욱 | ko |
| dc.contributor.author | 김봉훈 | ko |
| dc.contributor.author | 김주영 | ko |
| dc.date.accessioned | 2019-04-15T18:14:17Z | - |
| dc.date.available | 2019-04-15T18:14:17Z | - |
| dc.date.issued | 2018-01-19 | - |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/10203/257094 | - |
| dc.description.abstract | 본 발명은 a) 블록공중합체와 결점 용융제를 혼합하여 혼합물을 제조하는 단계; b) 상기 혼합물을 기판 상에 도포하여 박막을 형성하는 단계; 및 c) 상기 박막을 어닐링하여 자기조립하는 단계;를 포함하는 결점 용융을 이용한 자기조립 나노 패턴 형성방법으로 상기 결점은 χN이 10.5 이하인 결점 용융을 이용한 자기조립 나노 패턴 형성방법에 관한 것이다. | - |
| dc.title | 결점 용융을 이용한 자기조립 나노 패턴 형성 방법 | - |
| dc.title.alternative | Formation method of self-assembled nano-pattern using defect melting | - |
| dc.type | Patent | - |
| dc.type.rims | PAT | - |
| dc.contributor.localauthor | 김상욱 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 김봉훈 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 김주영 | - |
| dc.contributor.assignee | 한국과학기술원 | - |
| dc.identifier.iprsType | 특허 | - |
| dc.identifier.patentApplicationNumber | 10-2015-0157104 | - |
| dc.identifier.patentRegistrationNumber | 10-1821969-0000 | - |
| dc.date.application | 2015-11-10 | - |
| dc.date.registration | 2018-01-19 | - |
| dc.publisher.country | KO | - |
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