반도체 테스트 장치, 반도체 장치 및 반도체 테스트 방법SEMICONDUCTOR TEST DEVICE, SEMICONDUCTOR DEVICE AND METHOD FOR TESTING SEMICONDUCTOR DEVICE
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | 김정호 | ko |
| dc.contributor.author | 박준서 | ko |
| dc.contributor.author | 이준호 | ko |
| dc.date.accessioned | 2019-04-15T17:14:40Z | - |
| dc.date.available | 2019-04-15T17:14:40Z | - |
| dc.date.issued | 2018-04-02 | - |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/10203/256505 | - |
| dc.description.abstract | 본 발명은 관통 전극을 포함하는 기판과 그 상부의 금속 배선층 사이의 정상 연결 여부, 관통 전극과 기판 사이의 절연 여부 등을 테스트할 수 있는 반도체 테스트 장치, 반도체 장치 및 반도체 테스트 방법에 관한 것이다.본 발명에 의한 반도체 테스트 장치는 제어 단자를 포함한 발진기 및 관통 전극 또는 상기 관통 전극과 연결된 금속 배선층과 상기 제어 단자를 선택적으로 연결하는 스위치를 포함한다. | - |
| dc.title | 반도체 테스트 장치, 반도체 장치 및 반도체 테스트 방법 | - |
| dc.title.alternative | SEMICONDUCTOR TEST DEVICE, SEMICONDUCTOR DEVICE AND METHOD FOR TESTING SEMICONDUCTOR DEVICE | - |
| dc.type | Patent | - |
| dc.type.rims | PAT | - |
| dc.contributor.localauthor | 김정호 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 박준서 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 이준호 | - |
| dc.contributor.assignee | 에스케이하이닉스 주식회사,한국과학기술원 | - |
| dc.identifier.iprsType | 특허 | - |
| dc.identifier.patentApplicationNumber | 10-2012-0088725 | - |
| dc.identifier.patentRegistrationNumber | 10-1846562-0000 | - |
| dc.date.application | 2012-08-14 | - |
| dc.date.registration | 2018-04-02 | - |
| dc.publisher.country | KO | - |
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