전기방사 및 식각공정으로부터 촉매가 기능화된 금속산화물 나노튜브, 이의 제조 방법 및 이를 이용한 가스 센서

Abstract

전기방사 및 식각공정으로부터 촉매가 기능화된 금속산화물 나노튜브, 이의 제조 방법 및 이를 이용한 가스 센서가 개시된다. 전기방사 기법을 통해 제작된 금속산화물 나노튜브는 2가지 이상의 금속산화물을 포함하는 복합 1차원 나노섬유가 식각 공정에 의해 상기 2가지 이상의 금속산화물 중 특정 금속산화물이 제거됨에 따라 형성된 다공성 나노튜브 구조를 가질 수 있다. 또한 이 후, 촉매를 기능화시켜 열린 구조를 갖는 촉매가 결착된 금속산화물 다공성 나노튜브를 형성하는 것을 특징으로 한다. 식각 공정을 통해 형성되는 다공성 나노튜브는 쉘 (shell) 사이사이의 메조포어 (mesopores)를 포함할 수 있으며, 이로 인해 높은 표면적을 지니고 열린 구조를 가져, 효과적인 표면 가스 반응 과 원활한 가스 침투 및 확산을 가능하게 하여 감도를 높이 향상시킬 수 있다. 이와 더불어 촉매를 결착시킴으로써 보다 고감도, 고선택성을 지니는 유해환경가스 감지 및 날숨 분석 센서에 적용 할 수 있다.