광소결을 통한 상변화 및 입성장 된 3차원 나노계층구조 금속산화물 감지층을 이용한 가스 센서용 부재, 가스 센서 및 그 제조 방법

Abstract

본 발명은 가스 센서용 부재, 이를 이용한 가스 센서 및 그 제조 방법에 관한 것으로서, 구체적으로는 전기분사를 통해 제조된 3차원 나노계층구조 금속산화물에 광소결을 통해 단결정으로 성장한 입자 및 상변화 된 다종의 결정상 (phase)을 포함하는 3차원 나노계층구조 금속산화물을 형성하는 것을 특징으로 한다. 보다 상세하게는, 본 발명은 광소결을 통한 단결정으로의 성장을 통해 높은 전기전도도를 개선시키고, 상변화를 일으켜 다종의 결정상을 형성하여 촉매 효과를 동시에 얻을 수 있으며, 단결정으로의 성장으로 인한 추가적인 기공형성도 포함하는 것을 특징으로 한다. 또한 이와 더불어 전기분사 시 촉매를 포함시킴으로써, 고감도, 고 선택성, 빠른 반응 감지 속도의 특성을 지니는 유해 환경 센서 및 날숨 센서에 적용 될 수 있다.