원자력 현미경 장치 및 이의 온도 산출 방법ATOMIC FORCE MICROSCOPY AND METHOD FOR CALCULATING LOCAL TEMPERATURE USING THE SAME
원자력 현미경 장치의 온도 측정 방법은 캔틸레버(cantilever)의 일단에 일체로 연결된 탐침을 시료(sample)의 목표 지점에 위치시키고, 캔틸레버에 설정된 반사면에 레이저 광을 입사하여 반사광을 검출하며, 입사된 레이저 광인 입사광의 광량과 반사광의 광량에 기초하여 캔틸레버의 측정 반사율을 산출하고, 기 설정된 상기 캔틸레버의 반사율과 온도 사이의 관계 및 측정 반사율을 이용하여 시료의 목표 지점의 온도를 산출할 수 있다.
- Assignee
- 한국과학기술원
- Country
- KO (South Korea)
- Issue Date
- 2018-05-02
- Application Date
- 2016-09-30
- Application Number
- 10-2016-0126073
- Registration Date
- 2018-05-02
- Registration Number
- 10-1855792-0000
- Appears in Collection
- ME-Patent(특허)
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