3차원 적층형 플렉서블 나노 제너레이터 및 제조 방법

Abstract

본 발명에 따른 3차원 적층형 플렉서블 나노 제너레이터는, 플렉서블 기재; 및 상기 플렉서블 기재 상에 적층되는 복수의 압전 소자층;을 포함하며, 상기 복수의 압전 소자층은 상기 플렉서블 기재의 상면에 적층되는 제1 압전 소자층 및 상기 제1 압전 소자층의 상면 또는 상기 플렉서블 기재의 하면에 적층되는 제2 압전 소자층을 포함한다.본 발명은 레이저 리프트 오프 공정을 통해 제조되는 압전소자층을 포함하는 복수의 자가 발전기를 적층하는 과정을 통해 플라스틱 기판 상에서 차지하는 면적을 줄이는 동시에 부피를 최소화할 수 있게 하고, 플라스틱 기판의 사용을 줄임으로써 제작 비용의 감소를 기대하게 한다.