도막 두께 분포 시각화 방법 및 이를 위한 능동형 열화상 장치

Abstract

도막 두께 분포 시각화 방법 및 이를 위한 능동형 열화상 장치가 개시된다. 가열부가 계측 구조물의 계측 대상 영역에 대하여 상대적인 이동을 하면서 광빔을 가하여 가열한다. 계측부가, 가열부와 함께, 가열되는 계측 대상 영역을 스캐닝하면서 촬영하여, 계측 대상 영역에서 열에너지가 전파되는 현상에 관한 다수의 열화상 이미지를 생성한다. 시간-공간 통합 좌표 변환 알고리즘에 따른 좌표 변환을 수행하여 동적 상태의 상기 다수의 열화상 이미지들을 정적 상태의 시간-공간 통합 열화상 이미지로 변환한다. 도막층의 두께는 푸리에 열전도식을 이용하여 산출될 수 있다. 변환된 시간-공간 통합 열화상 이미지에서 가열전 시간-공간 통합 열화상 이미지를 빼주어 외부 열원에 의한 노이즈를 제거한다. 시간-공간 통합 열화상 이미지에 포함된 선형의 광빔의 불균일한 에너지 분포에 따른 노이즈, 펩퍼 노이즈 등을 제거한다. 시간-공간 통합 열화상 이미지에 대하여 페인트의 종류와 색상에 차이를 상쇄하기 위한 정규화 처리를 수행할 수 있다.