금속의 균일 성장 및 식각의 기학적 비가역성을 이용한 임베디드 금속 나노구조 및 그 제작 방법EMBEDDED METAL NANOSTRUCTURE USING GEOMETRICAL IRREVERSIBILITY OF CONFORMAL DEPOSITION AND UNIFORM GROWTH OF METAL, AND METHOD FOR MANUFACTURING THE SAME
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | 나노종합기술원 | ko |
| dc.contributor.author | 이정용 | ko |
| dc.contributor.author | 강주훈 | ko |
| dc.date.accessioned | 2019-04-15T15:59:07Z | - |
| dc.date.available | 2019-04-15T15:59:07Z | - |
| dc.date.issued | 2018-08-17 | - |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/10203/255534 | - |
| dc.description.abstract | 본 발명은 무전해 도금을 통해 기판 상에 금속 물질을 도포하고, 식각을 통한 금속 박막의 일부를 제거하여 기판에 임베디드된 형태의 금속 나노구조를 형성하는 금속의 균일 성장 및 식각의 기학적 비가역성을 이용한 임베디드 금속 나노구조 및 그 제작 방법에 관한 것으로, 종래의 리소그래피 공정을 개선시킨 기술을 제공할 수 있다. | - |
| dc.title | 금속의 균일 성장 및 식각의 기학적 비가역성을 이용한 임베디드 금속 나노구조 및 그 제작 방법 | - |
| dc.title.alternative | EMBEDDED METAL NANOSTRUCTURE USING GEOMETRICAL IRREVERSIBILITY OF CONFORMAL DEPOSITION AND UNIFORM GROWTH OF METAL, AND METHOD FOR MANUFACTURING THE SAME | - |
| dc.type | Patent | - |
| dc.type.rims | PAT | - |
| dc.contributor.localauthor | 이정용 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 강주훈 | - |
| dc.contributor.assignee | 한국과학기술원 | - |
| dc.identifier.iprsType | 특허 | - |
| dc.identifier.patentApplicationNumber | 10-2017-0075573 | - |
| dc.identifier.patentRegistrationNumber | 10-1891440-0000 | - |
| dc.date.application | 2017-06-15 | - |
| dc.date.registration | 2018-08-17 | - |
| dc.publisher.country | KO | - |
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