극자외선 고차 조화파 생성 장치EUV HIGH HARMONIC GENERATION APPARATUS
극자외선 고차 조화파 생성 장치가 개시된다. 일 실시예는 펨토초 레이저 발생기에서 출력되는 빛을 전달하는 광 전달수단과, 상기 광 전달수단을 통해 전달받은 빛이 통과할 때 근접장 증폭이 일어날 수 있는 금속 박막이 포함된 사파이어를 포함한다.
- Assignee
- 한국과학기술원
- Country
- KO (South Korea)
- Issue Date
- 2018-10-12
- Application Date
- 2016-12-22
- Application Number
- 10-2016-0176602
- Registration Date
- 2018-10-12
- Registration Number
- 10-1909790-0000
- Appears in Collection
- ME-Patent(특허)
- Files in This Item
- There are no files associated with this item.
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.