광학 위상 어레이 칩 내 나노 메탈 안테나의 제작 방법 및 그 소자

Abstract

본 발명은 광학 위상 어레이 칩(Optical Phased Array Chip; OPA Chip)에 나노 메탈 안테나(Nano Metal Antenna)를 제작하는 방법 및 그 소자에 관한 것으로서, 상기 광학 위상 어레이 칩의 단면도에 따른 웨이퍼(Wafer) 내 일정 영역에 상기 나노 메탈 안테나를 제작하기 위한 캐비티(cavity)를 형성하는 단계, 및 상기 형성된 캐비티에 나노 금속박막 구조의 상기 나노 메탈 안테나를 제작하는 단계를 포함한다.