그래핀 나노 리본의 제조방법, 그래핀 나노 리본, 반도체 소자의 제조방법, 및 반도체 소자METHOD FOR MANUFACTURING GRAPHENE NANORIBBON, GRAPHENE NANORIBBON, METHOD FOR MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICE, AND SEMICONDUCTOR DEVICE
그래핀 나노 리본의 제조방법, 그래핀 나노 리본, 반도체 소자의 제조방법, 및 반도체 소자에 관한 것으로, 기판 상에 그래파이트화 금속 촉매 박막을 형성하는 단계; 상기 그래파이트화 금속 촉매 박막 상에 반응억제층을 형성하는 단계; 및 탄소 공급원을 공급하여, 그래핀 나노 리본을 성장시키는 단계;를 포함하는, 그래핀 나노 리본의 제조방법과 신규한 형태의 그래핀 나노 리본, 상기 그래핀 나노 리본의 제조방법을 이용한 반도체 소자의 제조 방법, 및 소자 특성이 향상된 반도체 소자를 제공할 수 있다.