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Control of plasma parameters using grid voltage biasing and inert gas mixing in inductively coupled plasma = 유도결합 플라즈마에서 그리드 및 비활성 기체 혼합을 이용한 플라즈마 변수 제어link Bai, Keun-Hee; 배근희; Chang, Hong-Young; 장홍영, 한국과학기술원, 2002 |
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