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Langmuir 프로브 시스템 개발과 Pulsed Magnetron 플라즈마의 시간적 특성에 관한 연구 = Developement of Langmuir probe system and study on the temporal behavior of plasma characteristics in pulsed magnetron plasmalink 이상원; Lee, Sang-Won; 장홍영; Chang, Hong-Young, 한국과학기술원, 2005 |