Showing results 1 to 3 of 3
A study on the characteristics of RF multi hole cathode CCP discharge in various noble gas = 복수 홀 전극 구조를 갖는 축전 결합 RF 방전 특성에 관한 연구link Lee, Hun-su; 이헌수; et al, 한국과학기술원, 2011 |
On the uniformity of electric field controlled plasma sources = 전기장으로 제어된 플라즈마 소스의 균일도에 관한 연구link Lee, Yong-Kwan; 이용관; et al, 한국과학기술원, 2003 |
박막형 실리콘 태양전지 증착을 위한 대면적 고속 증착장비 연구 = Study on the VHF multi-electrode CCP for the microcrystalline silicon thin film solar cellslink 이윤성; Lee, Yun-Seong; et al, 한국과학기술원, 2013 |
Discover