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Browse "IE-Theses_Ph.D.(박사논문) " by Subject 클러스터 장비▼a웨이퍼 지연▼a클리닝 공정▼a작업주기 내 간섭▼a로봇 작업순서▼a스케줄가능성

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(A) new class of sequences that minimizes work cycle interferences for cluster tools with wafer delay constraints = 웨이퍼 지연제약조건을 고려한 클러스터 장비에서 작업주기 내 간섭을 최소화하는 로봇작업순서link

Lim, Yuchul; Lee, Tae Eog; et al, 한국과학기술원, 2018

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