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Study on pre-charge loss for application of pre-charging method to electrostatic micro-actuators = 정전구동 마이크로 엑츄에이터에 선-충전 방법 적용을 위한 전하 손실에 관한 연구link

Kim, Kyeong-Hun; Yoon, Jun-Bo; et al, 한국과학기술원, 2016

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