점착 문제 없이 낮은 동작 전압을 가지는 MEMS 스위치를 만들기 위해 제작이 완료된 후 상/하판 사이 간격을 줄이는 영구 변형 방법에 대한 연구
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | 윤용훈 | ko |
| dc.contributor.author | 김수본 | ko |
| dc.contributor.author | 윤건욱 | ko |
| dc.contributor.author | 윤준보 | ko |
| dc.date.accessioned | 2018-12-20T02:17:45Z | - |
| dc.date.available | 2018-12-20T02:17:45Z | - |
| dc.date.created | 2018-11-29 | - |
| dc.date.issued | 2018-04-06 | - |
| dc.identifier.citation | 제 20회 한국MEMS학술대회 | - |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/10203/247520 | - |
| dc.language | Korean | - |
| dc.publisher | 마이크로나노시스템학회 | - |
| dc.title | 점착 문제 없이 낮은 동작 전압을 가지는 MEMS 스위치를 만들기 위해 제작이 완료된 후 상/하판 사이 간격을 줄이는 영구 변형 방법에 대한 연구 | - |
| dc.type | Conference | - |
| dc.type.rims | CONF | - |
| dc.citation.publicationname | 제 20회 한국MEMS학술대회 | - |
| dc.identifier.conferencecountry | KO | - |
| dc.identifier.conferencelocation | 제주 KAL 호텔 | - |
| dc.contributor.localauthor | 윤준보 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 김수본 | - |
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