대구경 선집속 탐촉자를 이용한 실리콘 웨이퍼에서의램파 전파 특성 분석Investigation on lamb wave propagation in silicon wafer using large aperture line-focused transducer
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | Chung, Yoonjae | ko |
| dc.contributor.author | Yang, Seung Soo | ko |
| dc.contributor.author | Yu, Minjae | ko |
| dc.contributor.author | Kim, Young H. | ko |
| dc.date.accessioned | 2018-11-12T04:53:57Z | - |
| dc.date.available | 2018-11-12T04:53:57Z | - |
| dc.date.created | 2018-10-29 | - |
| dc.date.created | 2018-10-29 | - |
| dc.date.created | 2018-10-29 | - |
| dc.date.created | 2018-10-29 | - |
| dc.date.issued | 2018-07 | - |
| dc.identifier.citation | JOURNAL OF THE ACOUSTICAL SOCIETY OF KOREA, v.37, no.4, pp.174 - 180 | - |
| dc.identifier.issn | 1225-4428 | - |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/10203/246597 | - |
| dc.description.abstract | 본 연구에서는 이방성 매질인 (100), (111) 방향의 실리콘 웨이퍼에서 램파의 전파 특성을 PVDF- (Polyvinylidene Fluoride) 선집속 탐촉자를 이용하여 분석하였다. 램파가 분산성을 가지기 때문에 탐촉자와 시편 사이의 거리 z를 바꿔가며 측정하는 V(f,z)방법을 변형하여 사용하였다. 또한 이방성을 확인하기 위해 선집속 탐촉자가 사용되었고, 실리콘 웨이퍼를 1° 간격으로 180° 회전시켜 측정하였다. 실험 결과, A0 모드와 S0 모드를 확인할 수있었다. S0 모드의 속력 분포에서 각 결정 방향의 구조와 연관된 이방성을 확인할 수 있었고, A0 모드의 속력은 등방성으로 나타났다. 이는 실리콘의 결정구조와 램파의 각 모드의 진동양상과 부합하는 결과이다. | - |
| dc.language | Korean | - |
| dc.publisher | ACOUSTICAL SOC KOREA | - |
| dc.title | 대구경 선집속 탐촉자를 이용한 실리콘 웨이퍼에서의램파 전파 특성 분석 | - |
| dc.title.alternative | Investigation on lamb wave propagation in silicon wafer using large aperture line-focused transducer | - |
| dc.type | Article | - |
| dc.type.rims | ART | - |
| dc.citation.volume | 37 | - |
| dc.citation.issue | 4 | - |
| dc.citation.beginningpage | 174 | - |
| dc.citation.endingpage | 180 | - |
| dc.citation.publicationname | JOURNAL OF THE ACOUSTICAL SOCIETY OF KOREA | - |
| dc.identifier.doi | 10.7776/ASK.2018.37.4.174 | - |
| dc.identifier.kciid | ART002372168 | - |
| dc.contributor.localauthor | Kim, Young H. | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | Chung, Yoonjae | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | Yang, Seung Soo | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | Yu, Minjae | - |
| dc.description.isOpenAccess | N | - |
| dc.type.journalArticle | Article | - |
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