학위논문(석사) - 한국과학기술원 : 전기및전자공학부, 2017.2,[viii, 50 p. :]
배선; 구리 확산 방지막; 씨모스; 도핑; 고분자; 그래핀; 공정; Interconnect; Cu diffusion barrier; CMOS; Doping; Polymer; Graphene; Process
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