ＶＣＭ을 이용한 Ｘ-Ｙ 정밀구동 스테이지 장치A Stage Device Of X-Y Precision Drive Using VCM
본 발명은 마이크로스코프 등에서 사용되는 시편이송기구에 관련된 2축 운동을 갖는 판스프링과 VCM을 이용한 XY 스테이지장치에 관한 것으로, 고정된 양측을 중심으로 구동되는 부분과 구동하는 부분에 탄성수단으로 연결되어 동일방향으로 구동하는 부분으로 이루어진 동일구조의 X축방향 이동 스테이지 및 Y축방향 이동 스테이지와, 상기 각 스테이지에 구동력을 제공하는 수단으로서 각각 결합되는 자력발생수단을 포함하여 2축운동을 가능하게 함으로써 시편의 2축 위치결정을 정밀하게 제어하는 것을 특징으로 한다.VCM, 코일, 판스프링, 시편, 스테이지, 영구자석, 요크
- Assignee
- 한국과학기술원
- Country
- KO (South Korea)
- Issue Date
- 2004-12-08
- Application Date
- 2002-01-12
- Application Number
- 10-2002-0001913
- Registration Date
- 2004-12-08
- Registration Number
- 10-0462388-0000
- Appears in Collection
- ME-Patent(특허)
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