관성 센서micro inertial sensor
이 발명은 내이 유모세포 섬포번들의 증폭 매커니즘을 모사한 관성 센서에 관한 것이다.또한, 이 발명에 따른 관성 센서는, 프레임과, 상기 프레임 내에서 1축 방향으로 운동하는 제1운동체와, 상기 프레임과 상기 제1운동체를 연결하는 제1스프링과, 상기 프레임과 상기 제1운동체를 연결하는 제1댐퍼와, 상기 프레임 내에서 상기 제1운동체와 동일한 방향으로 1축 운동을 하는 제2운동체와, 상기 프레임과 제2운동체를 연결하는 제2댐퍼와, 상기 제1운동체와 제2운동체를 연결하는 제2스프링과, 상기 제1운동체의 운동 방향으로의 양측에 장착되고 구동전압이 인가되어 상기 제1운동체에 정전기력을 가해주는 제1운동전극 및 제2운동전극을 포함한다.
- Assignee
- 한국과학기술원,한국기계연구원
- Country
- KO (South Korea)
- Issue Date
- 2008-06-13
- Application Date
- 2006-09-18
- Application Number
- 10-2006-0090226
- Registration Date
- 2008-06-13
- Registration Number
- 10-0839870-0000
- Appears in Collection
- ME-Patent(특허)
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