패턴 전사방법 및 패턴 전사장치METHOD AND APPARATUS FOR TRANSFERRING PATTERN
본 발명은 패턴 전사방법 및 패턴 전사장치에 관한 것이다.본 발명에 따른 패턴 전사방법은, 기판 상에 전사재료층을 형성하는 제1 단계, 전사재료층을 고상 상태로 경화시키는 제2 단계, 경화된 고상 상태의 전사재료층에 레이저 광을 주사하여, 전사재료층을 패터닝하는 제3 단계, 패터닝된 고상 상태의 전사재료층과 유연 기판을 서로 맞대어 가압하고, 전사재료층으로부터 유연 기판 방향으로 또는 유연 기판으로부터 전사재료층 방향으로 레이저 광을 주사하여, 전사재료층과 유연 기판이 맞대어진 부위에서의 유연 기판의 점성력에 의하여 전사재료층을 유연 기판으로 전사하는 제3 단계를 포함한다.
- Assignee
- 한국과학기술원
- Country
- KO (South Korea)
- Issue Date
- 2011-12-02
- Application Date
- 2010-01-07
- Application Number
- 10-2010-0001354
- Registration Date
- 2011-12-02
- Registration Number
- 10-1091702-0000
- Appears in Collection
- ME-Patent(특허)
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