패턴 전사방법 및 패턴 전사장치

Abstract

본 발명은 패턴 전사방법 및 패턴 전사장치, 이를 적용한 전자파 차폐시트, 디스플레이 패널, 태양전지, 박막 트랜지스터, 인쇄회로기판, 안테나에 관한 것이다.본 발명에 따른 패턴 전사방법은, 복수의 패턴 홈이 형성된 마스터 몰드의 면 상에 유연 소재를 붓고, 유연 소재를 경화시키는 제1 단계, 경화된 유연 소재를 마스터 몰드로부터 떼어내어, 복수의 패턴 홈이 형성된 유연 몰드를 형성하는 제2 단계, 복수의 패턴 홈에 전사재료를 채우는 제3 단계, 복수의 패턴 홈에 채워진 전사재료를 고상 상태로 경화시키는 제4 단계, 전사재료와 기판을 서로 맞대어 가압하고, 유연 몰드로부터 기판 방향으로 또는 기판으로부터 유연 몰드 방향으로 레이저 광을 주사하여, 경화된 전사재료를 기판 상으로 전사하는 제5 단계를 포함한다.