적외선 볼로메타

Abstract

본 발명은 적외선 검출기인 볼로메타에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 적외선 열에 의해 변화된 저항값을 읽을 때와 열흡수층의 잔열을 제거하기 위해 사용되는 신호 다리를 구비한 적외선 볼로메타에 관한 것이다. 본 발명에 따른 적외선 볼로메타는 보호층으로 코팅된 집적회로를 구비한 하부 기판; 적외선을 흡수하는 흡수층과, 상기 흡수층으로부터 흡수된 적외선 열에 의해 저항값이 변하는 저항체를 구비하고, 상기 하부 기판과 소정의 공간을 갖으며 서로 이격되어 있는 상부 기판; 상기 상부 기판를 기계적으로 지지하고, 상부 기판과 하부 기판을 연결하는 포스트(Post); 상기 하부 기판과 상부 기판 사이에서 상기 저항체로부터 하부 기판으로 신호를 전달하는 신호 다리; 상기 신호 다리를 상기 상부 기판과 전기적으로 온-오프되도록 구동하기 위하여 하부 기판 상면에 형성된 하부 전극; 및 상기 하부 기판 상면에 형성되고, 적외선 열의 흡수율을 증가시키기 위한 반사층을 포함하여 이루어진다.