높은 응답도를 갖는 볼로 미터 구조

Abstract

본 발명은 적외선 검출기인 볼로 미터에 관한 것으로, 신호를 읽어낼 때에만 볼로 미터의 저항체가 기판으로 접촉할 수 있는 두 다리를 구비한 높은 응답도를 갖는 볼로 미터의 구조에 관한 것으로, 다수 개의 기판이 소정의 공간을 갖고 이격되며, 지지 다리에 의해 연결되어 있는 적외선 열을 검출하는 볼로 미터(Bolometer)에 있어서, 각각의 기판을 지지하는 제1 지지체 및 제2 지지체를 구비하여, 기판 위에 고정되어 볼로 미터의 저항체와 전기적으로 온-오프되는 신호 다리를 포함하되, 각각의 기판에 형성된 하부 전극과 상부 전극 간에 소정의 전압 인가에 따라, 상부 전극이 하부 전극 방향으로 휘어지도록 하여, 제2 지지체에 의해 볼로 미터의 저항체가 신호 다리와 전기적으로 온 되는 것을 포함한다.