평면 전계 방출형 평판 표시장치

Abstract

본 발명은 ，집적도를 높임과 동시에 저전압이라도 고속에 구동한 것이 가능하도록，종래의 마이크로칩 구조대신에 평면 캐소드 구조를 채택한 단위 셀 구조를 갖는 평면 전계 방출형 디스플레이에 관한다．채널 절연층을 그 사이에 두고 절연층의 상부에는 캐소드를 절연층의 하부에 게이토 전극이 위치한 구조이다．케이토 전극의 전압에 의하고，캐소드로부터의 전자 방출을 제어한 것이 가능한다．전극을 양극，캐소드，게이토의 순서에 배열한 것에 의하고，공정의 단순화를 달성한 것이 가능한다．전극간의 간격을 용이하게 조절한 것이 가능하기 때문에 ，본 발명의 디스플레이는 소형은 물론 대형에 걸치는 대부분의 비디오 시스템에 종래의 디스플레이에 대신하으러 적용한 것이 가능한다．본 발명의 디스플레이는 ，종래의 반도체 공정 및 제작 설비의 대부분을 그대로 이용한 것이 가능한다．