박막 태양전지의 박막 형성장치(Thin Film Forming Apparatus For Thin Film Solar Cell)

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본원발명은 박막 태양전지의 박막 형성장치에 관한 것이다. 상기 박막 태양전지의 박막 형성장치는 박막 태양전지의 박막을 형성하기 위하여 증기를 배출하는 배출수단이 서로 나란하게 배치되어, 태양전지용 그래파이트(graphite) 기판의 상부면에 연속적으로 박막을 형성할 수 있다. 상세하게, 상기 배출수단은, 태양전지용 그래파이트 기판의 전면에 밴드갭이 큰 p형 반도체 소스의 증기를 배출하는 배출구를 포함하는 밴드갭이 큰 p형 반도체층을 형성하는 제 1 배출수단, 상기 밴드갭이 큰 p형 반도체층의 상부면에 밴드갭이 작은 p형 반도체 소스의 증기를 배출하는 배출구를 포함하는 밴드갭이 작은 p형 반도체층을 형성하는 제 2 배출수단, 상기 밴드갭이 작은 p형 반도체층의 상부면에 n형 반도체 소스의 증기를 배출하는 배출구를 포함하는 n형 반도체층을 형성하는 제 3 배출수단 및 상기 n형 반도체층이 형성된 그래파이트 기판에 후속 열처리용 증기를 배출하는 배출구를 포함하는 제 4 배출수단으로 구성되어 있다.
Assignee
한국과학기술원
Country
KO (South Korea)
Issue Date
2010-11-12
Application Date
2009-02-18
Application Number
10-2009-0013552
Registration Date
2010-11-12
Registration Number
10-0995394-0000
URI
http://hdl.handle.net/10203/236273
Appears in Collection
MS-Patent(특허)
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