알루미늄 할로겐 화합물과 이종 금속 화합물의 혼합분위기를 이용한 다결정 규소박막의 제조방법(Method for Fabricating polycrystalline silicon thinfilms using aluminum halogen compound and metalcompound atmosphere)
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | 안병태 | ko |
| dc.date.accessioned | 2017-12-20T12:42:31Z | - |
| dc.date.available | 2017-12-20T12:42:31Z | - |
| dc.date.issued | 2006-05-02 | - |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/10203/236265 | - |
| dc.description.abstract | 본 발명은 다결정 규소박막의 제조방법에 관한 것으로, 비정질 규소박막을 알루미늄 할로겐 화합물 보다 바람직하게는 알루미늄 클로라이드(AlCl3)와 이종 금속 또는 이 금속이 함유된 금속 화합물의 혼합 분위기에서 열처리함으로써 경제적으로 다결정 규소박막을 제조할 수 있는 방법에 관한 것이다. 본 발명은 알루미늄 할로겐 화합물 보다 바람직하게는 알루미늄 클로라이드(AlCl3)와 이종 금속 또는 이 금속이 함유된 금속 화합물의 혼합 분위기의 저온에서 비정질 규소박막을 결정화하여 경제적으로 효율적인 다결정 규소박막을 제조할 수 있는 방법과 이러한 방법에 의해 얻을 수 있는 다결정 규소박막의 제공을 목적으로 한다. 본 발명의 다결정 규소박막의 제조방법은 종래 다결정 규소박막의 제조에 있어서, 기판 위에 형성된 비정질 규소박막을 알루미늄 할로겐 화합물과 이종 금속 또는 이 금속이 함유된 금속 화합물이 99:1∼1:99의 비로 혼합된 분위기에서 400℃∼600℃의 온도로 열처리하는 단계를 포함한다. | - |
| dc.title | 알루미늄 할로겐 화합물과 이종 금속 화합물의 혼합분위기를 이용한 다결정 규소박막의 제조방법 | - |
| dc.title.alternative | (Method for Fabricating polycrystalline silicon thinfilms using aluminum halogen compound and metalcompound atmosphere) | - |
| dc.type | Patent | - |
| dc.type.rims | PAT | - |
| dc.contributor.localauthor | 안병태 | - |
| dc.contributor.assignee | 한국과학기술원 | - |
| dc.identifier.iprsType | 특허 | - |
| dc.identifier.patentApplicationNumber | 10-2003-0100539 | - |
| dc.identifier.patentRegistrationNumber | 10-0578105-0000 | - |
| dc.date.application | 2003-12-30 | - |
| dc.date.registration | 2006-05-02 | - |
| dc.publisher.country | KO | - |
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