광위상간섭법을 적용한 3차원 공간상에서의 좌표결정 방법및 시스템

Abstract

본 발명은 광위상 간섭 법을 이용하여 3차원의 좌표를 측정하는 방법 및 장치에 관한 것으로, 프로브의 내부에 서로 다른 위상을 갖는 두개의 광섬유(optical fiber)를 가설하고, 상기의 프로브를 측정하고자 하는 물체에 접촉식 또는 비접촉식을 이용하여 측정물체에 접근시키고, 상기 두 개의 광섬유에 의해서 생성되는 간섭 무늬를 CCD 카메라로 검출하고 검출된 간섭무늬를 위상천이 알고리즘을 이용하여 위상을 얻고 위상을 비선형 최적화를 통하여 3차원상의 물체의 좌표를 검출하는 방법 및 장치에 관한 것이다.본 발명의 측정 방법 및 장치는 검사하는 프로브 내부의 두 개의 광섬유의 위치를 3 차원 물체와 근접하게 접근시킬 수 있어서 측정의 오차를 감소시키고 장치가 간단해지며 장치의 제작비용도 감소하며, 상기의 과정으로 측정되는 좌표를 이용하여 3 차원 물체의 형상을 구현할 수 있다.광원, 렌즈, 광섬유, 압전소자(PZT), 컴퓨터, 프로브, CCD카메라, 구면파