위상천이 회절격자 간섭계와 그 측정방법

Abstract

본 발명은 회절격자를 이용한 위상천이 회절격자 간섭계에 관한 것으로, 특히 광원이 회절격자에 입사되어 여러개의 회절광으로 분리되면 이중 하나의 회절성분의 광을 기준광으로 선정하고 그 회절성분의 다른 부분이나, 다른 회절성분의 광을 측정대상물로 향하는 광으로 선정한 후, 상기 측정대상물로 향하는 광이 측정대상물에서 반사되어 회절격자에 입사 및 회절되므로 인해 만들어진 물체광이 상기 기준광과 간섭무늬를 생성하도록 하고, 상기 회절격자를 길이방향으로 움직임으로써 물체광 혹은 기준광을 위상천이 시킴으로써 다수의 간섭무늬들을 획득한 후, 상기 간섭무늬들을 해석하여 측정대상물의 형상을 얻는 것을 특징으로 하는 것이다. 본 발명은 광측정학 분야에 이용될 수 있는 향상된 회절격자 간섭계에 관한 것으로 여러 형태의 측정물을 측정할 수 있는 다양한 형태의 간섭계를 포함한다. 본 발명에서 제시하는 위상천이 회절격자 간섭계는 크게 광원부, 광분할기 혹은 광선방향 조정기, 위상천이 발생부, 간섭무늬 발생부, 간섭무늬 획득부, 중앙처리부 및 측정결과 표시장치로 구성된다. 광원부는 광원과 렌즈, 핀홀, 콜리메이터 혹은 광섬유로 구성되며 상기 광학요소들은 시스템의 특성에 따라 제외되거나, 다른 광학요소로 대치될 수 있다. 회절 격자, 간섭계, 위상천이 제어부