멀티레터레이션에 근거한 점회절 광원을 이용한 대영역형상 측정법 및 시스템The method and system to measure the large scale usingpoint diffraction based on the multilateration

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본 발명은 큰 영역의 임의 형상을 측정하는 방법과 그를 구현하는 측정시스템에 관한 것으로, 상세하게는 하나의 광프로브 내부에 두 개의 점광원을 가설하고 상기 점광원을 측정대상 물체에 조사한 후 상기 물체에 생성되는 간섭무늬를 획득하여 해석함으로써 임의 형상을 측정하는 방법 및 장치에 관한 것이다. 상기 측정장치는 광프로브 내부에 가설된 두개의 점광원중 한 개의 점광원 광경로를 제어하기 위한 광경로 변경수단이 구비되며, 상기 광프로브는 적용되는 측정알고리즘에 따라 다수개가 배치되어 측정대상 물체의 임의형상을 측정한다. 측정대상물체, 광프로브, 점광원, 측정점, 중앙제어부, 연산부, 영상처리부, 광스위치 제어부, 위상전환제어부, 광원, 광스위치, 광분배기, 위상변환부, 광섬유, 검출수단, 검출수단 제어부
Assignee
한국과학기술원
Country
KO (South Korea)
Issue Date
2004-12-07
Application Date
2002-01-29
Application Number
10-2002-0005062
Registration Date
2004-12-07
Registration Number
10-0462071-0000
URI
http://hdl.handle.net/10203/236244
Appears in Collection
ME-Patent(특허)
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