펨토초 레이저 기반 고분해능 시간비행법 거리측정장치

Abstract

본 발명은 펨토초 레이저 기반 고분해능 시간비행법 거리측정장치에 관한 것으로, 펨토초 펄스 레이저를 출사하는 펨토초 레이저 광원, 상기 펨토초 레이저 광원에서 출사되는 광을 서로 수직인 편광상태의 기준광과 측정광으로 분리하여 기준미러와 측정타겟으로 반사하기 위한 편광 빔스플리터, 기준미러에서 반사되는 기준광과 측정타겟에서 반사되는 측정광이 간섭되어 입사되면 이차조화파 생성을 위한 이차조화파생성부를 통과하여 이차조화파가 생성되고, 여기서 생성된 첫 번째 이차조화파는 제 1광검출기로 입사되며, 다시 수직인 펄스광(기준광과 측정광)은 미러를 통해 반사되어 상기 PPKTP를 통과함에 따라 생성된 두 번째 이차조화파는 제 2광검출기로 입사되고, 상기 제 1광검출기와 제 2광검출기에 입사된 이차조화파의 광강도 차를 출력하여 펄스 레이저의 시간간격을 분해하는 광상호상관기 및 상기 기준미러에서 반사된 기준광과 측정타겟에서 반사된 측정광의 레이저 펄스의 중첩을 위해 펨토초 레이저의 반복률을 제어하기 위한 제어부, 상기 제어부를 통해 펄스의 중첩량이 일정하도록 제어가 완료된 펨토초 레이저의 반복률을 시간/주파수 표준에 소급된 주파수 측정부(Frequency Counter)로 측정하여 거리 정보로 변환하는 변환부를 포함한다.