스핀 코팅 장치 및 방법SPIN COATING APPARATUS AND METHOD TFEREOF
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | 윤준보 | ko |
| dc.date.accessioned | 2017-12-20T12:41:05Z | - |
| dc.date.available | 2017-12-20T12:41:05Z | - |
| dc.date.issued | 2006-12-26 | - |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/10203/236215 | - |
| dc.description.abstract | 본 발명은 반도체 제조 장치 및 방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 에지 비드 효과를 제거할 수 있는 스핀 코팅 장치 및 방법에 관한 것이다.이러한 본 발명의 스핀 코팅 장치는 웨이퍼를 지지하고 회전시키며, 상기 회전 시 에지 비드가 형성될 연장부를 포함하고, 홈이 형성된 에지 익스텐션 척 및 상기 웨이퍼와 상기 에지 익스텐션 척을 결합시키는 결합 척을 포함한다.이러한 본 발명에 따르면, 에지 비드 효과를 효율적으로 제거할 수 있다. | - |
| dc.title | 스핀 코팅 장치 및 방법 | - |
| dc.title.alternative | SPIN COATING APPARATUS AND METHOD TFEREOF | - |
| dc.type | Patent | - |
| dc.type.rims | PAT | - |
| dc.contributor.localauthor | 윤준보 | - |
| dc.contributor.assignee | 한국과학기술원 | - |
| dc.identifier.iprsType | 특허 | - |
| dc.identifier.patentApplicationNumber | 10-2004-0070509 | - |
| dc.identifier.patentRegistrationNumber | 10-0663847-0000 | - |
| dc.date.application | 2004-09-03 | - |
| dc.date.registration | 2006-12-26 | - |
| dc.publisher.country | KO | - |
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