액적화학증착법을 이용한 박막 또는 분말 어레이 제조 방법

Abstract

본 발명은 웨이퍼 상 또는 제조하고자 하는 샘플 수만큼 구멍이 뚫려 있는 반응기 내에 다양한 조성을 지닌 박막 및 분말 어레이를 제조하기 위하여 일 축 방향으로 구동되어지는 가리개가 장착된 액적화학증착 등의 습식증착공정을 제공하는 것을 특징으로 한다. 다양한 조성을 지닌 물질은 웨이퍼 상의 마스크에 의해 미리 정하여진 영역에 운반되어 최소 2개 이상의 물질이 액체 상태로 혼합되거나 반응을 함으로써 최소 16개에서 20000개 가량의 다른 조성을 지닌 어레이를 형성하게 된다. 이를 통해 강유전체, 형광체를 포함한 무기소재, 유기고분자, 유기금속물질, 이온성 고체, 금속 합금에 이르기까지 다양한 용도의 소재 개발을 현재 실험방식에 비해 훨씬 효율적으로 수행할 수 있으며, 본 발명의 구성은 위에서 언급한 다양한 조성을 지닌 어레이 개발과 더불어 이를 단 시간 내에 특성 분석하는 방법까지 포함한다.