초음파를 이용한 레이저 가공장치 및 가공방법Laser processing method and apparatus using ultrasonic wave
레이저 발생장치 및 초음파 발생장치를 포함하는 레이저 가공장치가 공개된다. 레이저 발생장치는 가공물에 레이저를 조사하여 가공물에 개질부를 형성하도록 되어 있고, 초음파 발생장치는 가공물에 형성되는 개질부에 초음파를 전파하여 개질부로부터 연장되는 크랙을 형성하도록 되어 있다.
- Assignee
- 한국과학기술원
- Country
- KO (South Korea)
- Application Date
- 2010-10-15
- Application Number
- 10-2010-0100798
- Registration Date
- 2012-11-27
- Registration Number
- 10-1207583-0000
- Appears in Collection
- ME-Patent(특허)
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