플라즈마를 이용한 레이저 가공상태 모니터링 장치 및 방법Apparatus and method for monitoring laser processing status using plasma
가공물을 가공하기 위한 펄스 레이저를 조사하도록 되어 있는 레이저 발생장치, 및 상기 가공물로부터 생성되는 플라즈마로부터 전파되는 광을 검출하는 광 검출 장치를 포함하는 레이저 가공상태 모니터링 장치가 공개된다. 이 장치는 상기 가공이 비선형 광학현상에 의해 이루어지도록, 상기 펄스 레이저에 의해 상기 가공물 내에 비선형 광학현상이 일어나도록 상기 펄스 레이저의 첨두 출력이 조정된다.
- Assignee
- 한국과학기술원
- Country
- KO (South Korea)
- Application Date
- 2010-10-15
- Application Number
- 10-2010-0100780
- Registration Date
- 2012-12-10
- Registration Number
- 10-1212460-0000
- Appears in Collection
- ME-Patent(특허)
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