유연기구를 이용한 회전 오차 보상 스테이지

Abstract

본 발명은 유연기구를 이용한 회전 오차 보상 스테이지에 관한 것으로, Y축 슬라이더(100, 110)에 결합되어 갠트리 스테이지(130)와, 상기 갠트리 스테이지에 결합되어 X축 슬라이딩을 구현하는 X축 슬라이더(140)를 포함하여 구성되는 이송 스테이지에 있어서, 상기 갠트리 스테이지 양단에 구비되어 Y축 슬라이더와 연결되는 것으로, 몸체(210)와 회전부(220)로 구비되며, 상기 회전부는 몸체에 판스프링(230)으로 연결되어 회전변위에 대응하는 유연부를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다. 이와 같이 구성되는 본 발명은 이송 스테이지의 Z축 방향 회전 변위를 실시간으로 보상시킬 수 있는 이점이 있다.