공진형 회전이동 구동기 및 이를 갖는 공진형 회전이동 구동 어레이

Abstract

공진형 회전이동 구동기는 제1 전극, 제2 전극 및 전원 공급부를 포함한다. 상기 제1 전극은 경사면을 갖는 개구부를 구비한다. 상기 제2 전극은 상기 제1 전극의 상기 개구부 상에서 상기 경사면에 대하여 소정의 각도를 갖도록 탄성적으로 지지되며, 상기 개구부를 차단하는 제1 위치 및 상기 개구부를 개방하는 제2 위치 사이에서 회전 이동할 수 있다. 상기 전원 공급부는 제1 및 제2 전극들에 연결되며, 상기 제1 및 제2 전극들 사이에 상기 제2 전극의 공진을 일으킬 수 있는 입력 주파수를 갖는 교류 전압을 인가하여 상기 제2 전극을 상기 제1 전극으로 진동하면서 이동시킨다. 상기 공진형 회전이동 구동기는 공진 증폭을 이용하여 작은 전압으로 큰 회전변위를 구현할 수 있다.