그래핀의 제조 방법 및 그래핀의 제조 장치METHOD OF MANUFACTURING GRAPHENE AND APPARATUS FOR MANUFACTURING GRAPHENE
그래핀의 제조 방법에 있어서, 촉매층이 증착된 기판을 챔버 내에 로딩한다. 상기 챔버 내에 탄소 소스 가스를 공급한다. 국부적 가열원을 이용하여 상기 촉매층의 제1 부분을 가열함으로써, 상기 촉매층의 상기 제1 부분에 탄소 성분을 고용시킨다. 상기 국부적 가열원을 이동시켜 상기 촉매층의 상기 제1 부분을 냉각시킴과 동시에 다른 위치의 제2 부분을 가열하여 상기 촉매층 상에 연속적인 열처리를 수행함으로써, 상기 촉매층 상에 상기 고용된 탄소 성분으로부터 석출된 그래핀층을 형성한다.
- Assignee
- 한국과학기술원
- Country
- KO (South Korea)
- Issue Date
- 2013-11-19
- Application Date
- 2012-02-27
- Application Number
- 10-2012-0019489
- Registration Date
- 2013-11-19
- Registration Number
- 10-1332796-0000
- Appears in Collection
- MS-Patent(특허)
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