태양전지 제조방법 및 이에 의하여 제조된 태양전지

Abstract

GaN 태양전지 제조방법 및 이에 의하여 제조된 GaN 태양전지가 제공된다.본 발명에 따른 GaN 태양전지 제조방법은 (a) 희생 기판상에 InGaN를 포함하는 태양전지 소자층을 적층하는 단계; (b) 상기 소자층을 식각하여 상기 희생 기판을 노출시킴으로써, 상기 태양전지 소자층을 포함하는 하나 이상의 태양전지 소자를 형성하는 단계; (c) 상기 노출된 희생 기판을 비등방식각하여, 소정 간격으로 이격된 상기 하나 이상의 태양전지 소자를 상기 희생 기판으로부터 분리하는 단계; (d) 상기 분리된 하나 이상의 태양전지 소자를 PDMS에 접촉시키는 단계; 및 (e) 상기 PDMS에 접촉된 태양전지 소자를 플렉서블 기판에 전사시키는 단계를 포함하며, 본 발명에 따른 태양전지 제조방법은 고온의 반도체 공정을 실리콘 기판에 진행한 후, 플렉서블 기판에 전사시키는 방식이므로, 플렉서블 태양전지의 제조가 가능하다. 더 나아가, 대면적에서 많은 수의 태양전지를 우수한 정렬도로 구현, 제조할 수 있으므로, 경제성이 우수하다.