플라즈마 발생장치 및 기판 처리장치Apparatus for generating hollow cathode plasma and apparatus for treating substrate by hollow cathode plasma
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | 장홍영 | ko |
| dc.contributor.author | 서상훈 | ko |
| dc.contributor.author | 이헌수 | ko |
| dc.contributor.author | 이윤성 | ko |
| dc.date.accessioned | 2017-12-20T12:26:12Z | - |
| dc.date.available | 2017-12-20T12:26:12Z | - |
| dc.date.issued | 2011-12-09 | - |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/10203/235776 | - |
| dc.description.abstract | 본 발명에 따르면, 일면에 플라즈마가 생성되는 복수의 내측홈이 형성된 할로우 캐소드(Hollow cathode), 원뿔 또는 원뿔대 형상을 하고 내측홈에 고정 배치되는 복수의 니들(Needle); 및 할로우 캐소드에 전기적으로 연결되는 전력공급원을 포함하는 플라즈마 발생장치 및 기판 처리장치가 제공된다. 이러한 본 발명에 따르면, 할로우 캐소드 및 할로우 캐소드의 내측홈에 배치된 니들에 의해 할로우 캐소드 효과와 전자 방출 효과가 증대되므로 고밀도의 플라즈마를 제공할 수 있다. | - |
| dc.title | 플라즈마 발생장치 및 기판 처리장치 | - |
| dc.title.alternative | Apparatus for generating hollow cathode plasma and apparatus for treating substrate by hollow cathode plasma | - |
| dc.type | Patent | - |
| dc.type.rims | PAT | - |
| dc.contributor.localauthor | 장홍영 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 서상훈 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 이헌수 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 이윤성 | - |
| dc.contributor.assignee | 한국과학기술원 | - |
| dc.identifier.iprsType | 특허 | - |
| dc.identifier.patentApplicationNumber | 10-2009-0085700 | - |
| dc.identifier.patentRegistrationNumber | 10-1094644-0000 | - |
| dc.date.application | 2009-09-11 | - |
| dc.date.registration | 2011-12-09 | - |
| dc.publisher.country | KO | - |
- Appears in Collection
- PH-Patent(특허)
- Files in This Item
- There are no files associated with this item.
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.