플라즈마 발생 장치PLASMA GENERATION APPARATUS
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | 장홍영 | ko |
| dc.contributor.author | 서상훈 | ko |
| dc.contributor.author | 인정환 | ko |
| dc.date.accessioned | 2017-12-20T12:25:56Z | - |
| dc.date.available | 2017-12-20T12:25:56Z | - |
| dc.date.issued | 2011-12-27 | - |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/10203/235765 | - |
| dc.description.abstract | 본 발명은 플라즈마 발생 장치를 제공한다. 이 장치는 진공 용기, 진공 용기의 내부에 일부 또는 전부가 노출되고 나란히 연장되는 복수의 전원 전극들, 및 기판을 지지하고, 전원 전극들이 배치되는 평면에서 수직으로 이격되어 배치된 기판 홀더를 포함한다. 전원 전극들은 라인 형상이고, 전원 전극들은 N 등분되고, N 등분된 부분의 중심부에 배치된 노드들에 RF 전력이 공급된다. | - |
| dc.title | 플라즈마 발생 장치 | - |
| dc.title.alternative | PLASMA GENERATION APPARATUS | - |
| dc.type | Patent | - |
| dc.type.rims | PAT | - |
| dc.contributor.localauthor | 장홍영 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 서상훈 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 인정환 | - |
| dc.contributor.assignee | 주성엔지니어링(주),한국과학기술원 | - |
| dc.identifier.iprsType | 특허 | - |
| dc.identifier.patentApplicationNumber | 10-2009-0076516 | - |
| dc.identifier.patentRegistrationNumber | 10-1101751-0000 | - |
| dc.date.application | 2009-08-19 | - |
| dc.date.registration | 2011-12-27 | - |
| dc.publisher.country | KO | - |
- Appears in Collection
- PH-Patent(특허)
- Files in This Item
- There are no files associated with this item.
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.