플라즈마 발생 장치 및 기판 처리 장치Gas supply enhancement using the shower head through the electrical insulator
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | 장홍영 | ko |
| dc.contributor.author | 서상훈 | ko |
| dc.contributor.author | 이윤성 | ko |
| dc.date.accessioned | 2017-12-20T12:14:28Z | - |
| dc.date.available | 2017-12-20T12:14:28Z | - |
| dc.date.issued | 2013-05-09 | - |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/10203/235623 | - |
| dc.description.abstract | 본 발명은 플라즈마 발생 장치 및 기판처리 장치를 제공한다. | - |
| dc.title | 플라즈마 발생 장치 및 기판 처리 장치 | - |
| dc.title.alternative | Gas supply enhancement using the shower head through the electrical insulator | - |
| dc.type | Patent | - |
| dc.type.rims | PAT | - |
| dc.contributor.localauthor | 장홍영 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 서상훈 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 이윤성 | - |
| dc.contributor.assignee | 주성엔지니어링(주),한국과학기술원 | - |
| dc.identifier.iprsType | 특허 | - |
| dc.identifier.patentApplicationNumber | 10-2011-0031535 | - |
| dc.identifier.patentRegistrationNumber | 10-1264913-0000 | - |
| dc.date.application | 2011-04-06 | - |
| dc.date.registration | 2013-05-09 | - |
| dc.publisher.country | KO | - |
- Appears in Collection
- PH-Patent(특허)
- Files in This Item
- There are no files associated with this item.
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.